让每个镜头,都记录精彩10月22日-23日，由国家发展和改革委员会高技术产业司、工业和信息化部电子信息司、北京市发展和改革委员会、北京市经济和信息化委员会指导，中国光学光电子行业协会液晶分会、日经BP社主办的2019国际显示产业高峰论坛（DIC 2019）在北京举行。EDWARDS泛半导体应用经理马震做了主题为《平板显示技术行业，设备操作及对中国环境的影响》的主题演讲。
马震介绍说，今年是DIC十年，同时也是EDWARDS成立一百周年。EDWARDS是一家英国的公司，一百年以前研制了第一台真空泵，是这个行业里第一台干式的真空产品，一百年以后，我们的真空泵被用在各个行业，包括制冷、食品，也包括液晶面板和半导体行业。
液晶面板生产过程中，有哪些危险气体、哪些危险元素需要处理？需要处理到什么程度？
为此，马震介绍说，典型的液晶面板的生产工厂关注的设备可能是左上角一小块，这是玻璃经过镀膜以后出来的设备。但是大家看不到的是除主设备外，例如真空泵和下面的水洗燃烧式的尾气处理设备，还有动力厂房，相关配套的水洗设备，废水处理设备等。但是这些恰恰是成本比较高的地方。沉积设备的输入气体是主要原料，主要原料除了玻璃就是气体，这些气体包括硅烷、氨气、一氧化二氮、氢气，这些都是易燃易爆气体。经常处理这些气体，有一些粉尘的堆积，其中红色的NF3气体恰恰是造成环境污染的主要因子。这些气体处理完之后要经过真空泵抽出来，本来这些易燃易爆的气体在真空状态下，或者在低压状态下是安全的不易燃的，但是压缩一千倍变成易燃的，所以需要加入惰性气体稀释，例如氮气。经过真空泵以后来到POU，尾气处理设备。这时主要发生的是化学反应，易燃气体在里面发生燃烧，给它足够时间，会变成惰性气体。但是惰性气体处理的同时会产生有毒有害有腐蚀性的气体，这些气体尾气处理设备里，经过尾气处理设备以后最终达到国家环保规定要求的下限，可以直接排放，这个过程在成膜设备里发生的。
马震表示，早在1910年，美国最先颁布了环保条约，那个时候没有这些气体，最早的条约是针对二氧化硅的，因为那个时候采矿业还是主流，大家发现粉尘对肺部有深远的影响。采矿业经过十年以后，变成了TLV变成了最大的介质，30年代苏联发布了MAC最大允许浓度，50、70年代，德国和欧洲也颁布了自己的法律。80年代开始，液晶面板和半导体产业开始发展，这个时候大家发现与环保相关领域扩展了很多，各种各样的气体层出不穷，90年国际上形成认可的环保法规，任何国家都不能超过这个浓度。美国一般有TLV，TLV是最高允许的浓度，这个浓度分8小时浓度，15分钟浓度和绝对不能超过的浓度，可想而知这个浓度越来越高。国际统称叫OELS，美国叫TLV，中国叫MAC，欧洲叫MAK。
最后马震强调，法规是依据的基础。中国的法规是最严格的，中国的法规更多关注与氯气，氯化氢、氟化氢和氮氧化物。氮氧化物是PM2.5的基础，所有的PM2.5都以氮氧化物为基础凝结，氟化物，氯化物有腐蚀性，氯气是化学武器，这些条例不仅广泛，而且规划的非常严格。